Det kommer främst att röra sig om familjer med bekräftad flyktingstatus, enligt Olaf Scholz, finansminister och vice förbundskansler.
Dessutom har Tyskland sagt sig vara redo att ta emot 150 barn från Moria.
Över 12 000 människor, framför allt asylsökande från Afghanistan, Afrika och Syrien, blev hemlösa efter branden i det överfulla lägret i förra veckan.