695 miljoner euro var dock något över marknadens förväntningar inför delårssläppet.
Desto sämre var dock försäljningsprognosen för andra kvartalet. ASML som är Europas största företag när det gäller att utveckla maskiner för halvledartillverkning, spår nu en försäljning på 5,1 miljarder euro jämfört med analytikernas förväntningar som låg i snitt på 5,86 miljarder euro.
Leveranstiderna för halvledare steg i mars till en rekordtid på i genomsnitt drygt 26 veckor som en konsekvens av covid-nedstängningen i Kina och en jordbävning i Japan.
Bland ASML:s största kunder finns bland annat elektronikgiganten Samsung.